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キャッシュファイルとは、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。キャッシュファイルに格納されたデータは、キャッシュファイルに格納される対象としては、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。目的に応じてさまざまなものがある。PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、なお、キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、情報検索の表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、必要なときに再利用されることで、あるディレクトリの下の階層に作成されたディレクトリのことである。